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日本KAIJO玻璃面板超声波清洗机

简要描述:日本KAIJO玻璃面板超声波清洗机,对超精密清洗发挥威力的高频清洗机,可用于去除半导体晶片、液晶、HDD等超微粒子。

  • 厂商性质:其他
  • 更新时间:2022-11-08
  • 访  问  量:256
详细资料
品牌其他品牌适用领域其他
电压200V产地进口
加工定制

日本KAIJO玻璃面板超声波清洗机

日本KAIJO玻璃面板超声波清洗机

对半导体、液晶等要求

高兆去除纳米级超细粒子

是对超精密清洗发挥威力的高频清洗机。可用于去除半导体晶片、液晶、HDD等超微粒子。高频(750kHz,950kHz)的MEGASONIC清洗,主要以加速度进行清洗。因此,几乎不会发生空泡。可有效解决因空泡造成的黄色(损伤)和驻波引起的清洗不均匀。

用途:

Si晶片、GaAs等的清洗

液晶玻璃清洗

玻璃口罩的清洗

硬盘清洗

水晶振子的清洗

薄膜磁头清洗

脆性材料等清洗

其他超精密清洗可设定0.1W功率。实现高功率稳定性。无损伤清洗对应的精密输出控制容易!(对应于200kHz以上)

通过选择4种特殊振荡模式,可以进行比以往更高精度的精密清洗。

可设定上升时、下降时的速度。

QUAVA系列与高兆索尼系列兼容,通过更换振荡器可以提高清洗性能。

与旧高达78101型相比,小型化为81%,重量也轻量化为17kg!

尺寸是可容纳在19英寸机架中的规格化尺寸。

原则上不需要更换振子时的调整(无匹配)。

用力为自由电源方式,不受工厂电源电压变动等影响。

7857S,8857S,98SL

仕様ウェーハ6ウェーハ8ウェーハ12
振動板仕様振動板仕様振動板仕様
型名7857S型8857S型98SL型
許容入力300Wx4300Wx6300Wx16
周波数950kHz950kHz750kHz
振動輻射面(mm)136x163165x215275x319
振動板材質SU316LSU316LSU316L
振動体PZTPZTPZT
最高使用温度70℃70℃70℃
外形寸法185x215x55255x305x55410x340x65
(WxDxHmm)
取付方法ボルト固定ボルト固定ボルト固定

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