日本MRM空气停止阀MPVA

日本MRM空气停止阀MPVA

日本MRM空气停止阀MPVA

支持Pillar Super300/Super flare。

接液部全部用氟树脂（PFA/PTFE）高耐腐蚀。

低发尘清洁（高表面粗糙度加工、精密清洗、平面密封结构）。

MRM的安全构造（高压对策及热循环对策）。

使用流体 (Fluid) 薬液･純水･気体 (Chemical liquid, DIW, Gas) ※2

流体温度 (Fluid temperature range) 10〜100℃

雰囲気温度 (Atmospheric temperature) 0〜40℃

接液部材質 (Materials of liquid flowed parts)

ボディ (Body) : PFA

ダイアフラム (Diaphragm) : PTFE

操作方式 (Operating system) 単動式 (Spring return actuation)

操作圧力 (Pneumatic supply pressure)

0.3MPa仕様 (0.3MPa specification) : 0.3〜0.6MPa

0.5MPa仕様 (0.5MPa specification)

: 0.45〜0.6MPa

0.7MPa仕様 (0.7MPa specification)

バルブサイズ (Valve size) 10 (3/8") 15 (1/2") 20 (3/4") 25 (1")

オリフィス (Orifice) Φ8 Φ10 Φ16 Φ22

流体圧力 (Fluid pressure range)

0.3MPa仕様

(0.3MPa specification)

IN→OUT 0〜0.3MPa

背圧 (Back pressure) 0〜0.3MPa 0〜0.2MPa 0〜0.1MPa

0.5MPa仕様

(0.5MPa specification)

IN→OUT 0〜0.5MPa

背圧 (Back pressure) 0〜0.5MPa

0.7MPa仕様

(0.7MPa specification)

IN→OUT 0〜0.7MPa ASK

背圧 (Back pressure) 0〜0.7MPa ASK